您好,欢迎光临西安中威新材料有限公司官网!

精密陶瓷制造商

氮化铝、氮化硅、碳化硅陶瓷专业生产加工企业

全国咨询服务热线

029-63618609

西安中威新材料有限公司

联系方式
联系我们

联系人:王经理
电 话:029-63618609
手 机:13571957961
地 址:西安市西咸新区新兴纺织产业工业园

氮化硅制程技术概述

发布时间:2021-12-15 11:04   点击量:

渗氮,就是将工件放在一定的渗氮剂中加热和保温,使渗氮剂中的活性原子氮渗入工件表层,以改变工件表面的化学成分、组织和性能的热处理方法。
 
发展进程主要分为以下几个阶段:
 
稀土催渗的快速气体渗氮
 
在体渗氮过程中加入一种稀土催渗剂,能够活化工件表面,加快氮原子吸收速度,不但缩短渗氮周期,还能够在工件表面形成细小弥散的氮化物,改善渗氮后组织和质量。其中,脆性级别、氮化物级别和疏松级别都可控制到1级,并提高表面硬度(比常规工艺提高30~100HV)。
 
对于一般结构钢渗层深度要求0.3mm时,采用常规渗氮工艺保温时间需要30小时以上,但如果加入稀土催渗剂后,保温时间仅用14小时,缩短时间53%,节电40%,省氮气35%以上,同时少排放废气35%,整个渗氮周期缩短32.7%。
 
连续式气体软氮化及发黑处理
 
传统的气体氮化热处理是在周期式井式炉或者箱式炉中进行的。方泰新材的薛教授认为:对大型工件,这种设备及工艺能够满足生产需求,但对于中小工件,在这种炉中进行气体氮化就容易出现加热不均、渗层不均、硬度不均等问题。此外,由于周期式氮化效果不好,每一炉都有误差,因此,大大增加了操作难度,并且不易保证所有批次工件的质量均匀一致。
 
创造性地将中小工件在连续炉中进行气体氮化,解决了传统周期式炉中气体渗氮的诸多缺点,不但大大提高了产品渗氮后的质量和热处理过程的一致性,且由于温度和时间均可连续调整,使操作简单易行并可成倍提高生产效率。
 
盐浴氮化及QPQ复合处理
 
根据方泰新材料的经验,温度一般为520~560℃。常用的液体氰化盐浴通常用中性盐氯化钠、氯化钡、氯化钾、碳酸钠等,常用的氰化物盐有氰化钠和氰化钾等,并仅适用于高速钢工具。另外,还有称作液体硫氮共渗的盐浴氮化,配方为氯化钡30%、氯化钠20%、氯化钙50%,另加5%~10%(中性盐总重量),成粉末状的硫化亚铁,其盐浴含硫量不低于0.2%,再通入一定量的氨气(NH3),促使盐浴翻动。工艺参数是:温度540℃~560℃,时间90~120分钟。
 
1.盐浴氮碳共渗方法
 
国外提出了盐浴氮碳共渗的方法,包括软氮化、Tenifer法;Tufftriding、新Tenifer法、Melonizing、Sulfinuz法、Sur-Sulf法等。国外的盐浴碳氮共渗在含氰化物和氰酸盐的熔盐中进行,熔盐中氰酸盐的热分解以及其他化学反应产生有扩散能力的氮,置于熔盐中的铁质工件表面和在气体渗氮时一样,起催化剂的作用。
 
2.QPQ盐浴复合处理技术
 
中国的QPQ盐浴复合处理技术,是“九五”期间国家级重点推广项目。QPQ一词来源于英文Quench-Polish-Quench一词的字头缩写,原意为淬火(快冷)—抛光—淬火(快冷),后有些专家学者把不加抛光工序的盐浴复合处理和增加了抛光工序的QPQ技术结合起来,统称为QPQ盐浴复合处理技术。QPQ盐浴复合处理技术有以下特点:
 
(1)良好的耐磨性、耐疲劳性能。大量生产应用及试验证明,该技术可以提高工模具寿命2倍以上。严格的滚动和滑动磨损试验说明,45钢、40Cr钢经QPQ盐浴复合处理后,其耐磨性比高频淬火高15倍以上,比20钢渗碳淬火高10倍以上,比镀硬铬和离子渗氮高2倍以上。调质的45钢经QPQ盐浴复合处理以后疲劳强度提高40%。
 
(2)极好的抗蚀性。45钢经QPQ盐浴复合处理以后,在大气和盐雾试验中的抗蚀性比发黑高70倍以上,比镀硬铬高16倍以上,甚至比1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢还高几倍。
 
(3)极小的变形。QPQ盐浴复合处理以后工件的尺寸和形状几乎无变化。在最佳工艺状态下,工件尺寸的胀缩量仅仅为0.005mm。工件形状的变化也极小,如可以成功地使(508mm×457mm×1.5mm)2Cr13不锈钢薄板处理后平面度保证在0.5mm以下。因此,该技术可以用来解决常规热处理方法无法解决的硬化变形难题。
 
(4)大幅度节能。与常规热处理技术相比,该技术处理温度低、保温时间短,可以大幅度节能。与渗碳淬火相比,可以节能50%以上。
 
(5)无公害。该技术在大量生产条件下,经各地环保部门在生产现场实地检测,各项环保指标均低于国家环保排放标准允许值。迪高沙公司曾因这项技术获德国环保奖。
 
QPQ盐浴复合处理技术的“复合”一词说明它不是一种单一的技术。“复合”的概念首先体现在它是渗氮(氮碳共渗)和氧化工序的复合;在性能上,它是高耐磨性与高抗蚀性的复合;在工艺上,它是热处理技术与防腐技术的复合。
 
早在20世纪70年代,为了改变气体渗氮时间长、硬度不均等缺点,广大的工程技术人员和车间工人投入了大量的精力和时间,研究了在氮化时加入电解钛而使渗速加快、渗层加深的工艺,当时叫做镀钛氮化,并在一些产品上进行了试用,还对钛氮化和普通气体氮化、盐浴氮化进行了对比试验。
 
实际生产表明,钛氮化能大大加快渗速,并使工件的硬度大大提高,从而大大提高了钻头、刀具、工具、模具的使用寿命。特别对于高速钢制造的钻头和刀具等,既克服了其他氮化造成刀口脆性而降低使用寿命的缺点,又使寿命大大提高。试验结果还指出,对于PVD镀膜的钻头,钛氮化后也能提高寿命14.5倍。
 
方泰新材,专业生产高性能氮化硅制品。
服务热线
029-63618609
扫一扫,关注我们
地址:西安市西咸新区新兴纺织产业工业园
Copyrights © 2017 西安中威新材料有限公司 All Rights Reserved 备案编号:陕ICP备16013743号-3