陶瓷晶圆卡盘 99.5%纯度氧化铝陶瓷--300mm
在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结 ，可以制作静电卡盘（Electrostatic Chucks）和陶瓷加热器。
运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。
（1）装有加热器的静电卡盘（ESC／加热器）
【材质：AIN（氮化铝）】
通过控制AIN的体积电阻率，可以获得大范围的温度域和充分的吸附力。
通过自由度高的加热器设计可以实现良好的温度均匀性。
因使AIN和电极完成一体化熔结，没有出现因电极的劣化造成的历时变化。
也可以应对采用接合技术的陶瓷中空结构和陶瓷轴安装。

（2）Al2O3（氧化铝）静电卡盘（ESC）
・采用层压技术实现极高的面内温度均一性。
・通过使用高纯度的氧化铝可以降低金属污染。
・在卤素气体等离子体环境下发挥出出色的耐久性。

（3）AIN（氮化铝）陶瓷加热器
由于使用了高热传导性的AIN，实现了良好的的温度均匀性（±0.3%）。
拥有IR相机和TC晶圆等的特性检查环境。

陶瓷晶圆卡盘 99.5%纯度氧化铝陶瓷--300mm